精密工程與微納技術研究所教師
| 付新 精密工程與微納技術研究所 教授、博導 | 研究方向：機械電子工程、微納技術與精密工程、浸沒光刻機浸液控制系統、超潔淨流控元件及系統 |
| 巨陽 微納技術與精密工程研究所 教授、博導 個人主頁：https://person.zju.edu.cn/yju | 學術兼職：日本工程院院士、浙江大學求是講席教授 研究方向：電子風力與合金材料結晶組織優化、微波無損檢測、三維立體納米材料創制及應用 |
| 居冰峰 精密工程與微納技術研究所 教授、博導 | 研究方向：微納測量、精密機電系統以及超精密加工技術 |
| 項榮 精密工程與微納技術研究所 教授、博導 個人主頁：https://person.zju.edu.cn/xiangrong | 學術兼職：浙江大學求是特聘教授 研究方向：原子尺度物質創制、原子分辨顯微表征、一維範德華異質結 |
| 李璟 精密工程與微納技術研究所 求是特聘教授、博導 E-mail：lijing2023@zju.edu.cn 個人主頁：https://person.zju.edu.cn/0023166 | 研究方向：超精密測量與標校、複雜系統控制與集成、動態與非穩態建模、光機電系統設計 |
| 謝金 精密工程與微納技術研究所 教授、博導 | 研究方向：微機械電子系統（MEMS）、微傳感器與驅動器、納米技術 |
| 劉濤 精密工程與微納技術研究所 所长、教授、博導 | 研究方向：穿戴式傳感技術、人體動力學分析和生物力學信息反饋、運動康複機器人 |
| 陳遠流 精密工程與微納技術研究所 长聘副教授、博導 | 研究方向：智能精密微納制造、精密機電系統集成與控制、先進功能表面的制造、操控與測量、新型驅動方式的界面機理與技術應用 |
| 胡亮 精密工程與微納技術研究所 教授、博導 | 研究方向：面向IC制造的超潔淨流控元件與系統 |
| 王靜 精密工程與微納技術研究所 求是特聘教授、博導 E-mail：jenny.wjing@gmail.com | 研究方向：光刻技術，納米尺寸的測量和制程良率控制 |
| 朱吳樂 精密工程與微納技術研究所 研究員、博導 個人主頁：https://person.zju.edu.cn/zhuwule | 研究方向：光學複雜器件的超精密柔性極端制造、自由曲面、微納結構在位測量技術 |
| 楊功流 精密工程與微納技術研究所 教授、博導 E-mail：yanggl007@zju.edu.cn | 研究方向：惯性技术、智能導航、组合導航技术；精密仪器、精密机电控制技术 |
| 阮曉東 精密工程與微納技術研究所 教授、博導 | 研究方向：流體機械、流動測量、人工心髒 |
| 劉昊 精密工程與微納技術研究所 副教授、碩導 | 研究方向：外骨骼機器人、氣動伺服控制系統、氣動-燃油混合動力系統 |
| 劉偉庭 精密工程與微納技術研究所 副教授、碩導 | 研究方向：微機電系統、MEMS傳感器、柔性觸覺傳感器、穿戴式測量技術 |
| 孫安玉 精密工程與微納技術研究所 副教授、碩導 | 研究方向：軟組織生物力學、無損檢測技術 |
| 蘇芮 精密工程與微納技術研究所 特聘副研究員、碩導 個人主頁：https://person.zju.edu.cn/ruisu | |
| 鄭永嘉 精密工程與微納技術研究所 研究員、博導 E-mail：zhengyongjia@zju.edu.cn 個人主頁：https://person.zju.edu.cn/zhengyongjia | 研究方向：原子及近原子尺度制造與測試表征、一維範德華異質結 |
| 申英男 精密工程與微納技術研究所 研究員、博導 E-mail：shenyingnan@zju.edu.cn 個人主頁：https://person.zju.edu.cn/shenyingnan | 研究方向：面向半導體制造的超潔淨流控與極微汙染物控制技術 |
