付新

精密工程與微納技術研究所

教授、博導
辦公室：
电 话：0571-88206490
E-mail: xfu@zju.edu.cn

研究方向：機械電子工程、微納技術與精密工程、浸沒光刻機浸液控制系統、超潔淨流控元件及系統。

巨陽

微納技術與精密工程研究所

教授、博導
电 话：
邮 箱：yang.ju@zju.edu.cn

個人主頁：https://person.zju.edu.cn/yju

學術兼職：日本工程院院士、浙江大學求是講席教授

研究方向：電子風力與合金材料結晶組織優化、微波無損檢測、三維立體納米材料創制及應用。

居冰峰

精密工程與微納技術研究所

教授、博導
辦公室：
电 话：0571-87951730
E-mail: mbfju@zju.edu.cn

研究方向：微納測量、精密機電系統以及超精密加工技術。

項榮

精密工程與微納技術研究所

教授、博導
电 话：
邮 箱：xiangrong@zju.edu.cn

個人主頁：https://person.zju.edu.cn/xiangrong

學術兼職：浙江大學求是特聘教授

研究方向：原子尺度物質創制；原子分辨顯微表征；一維範德華異質結

謝金

精密工程與微納技術研究所

教授、博導
辦公室：
电 话：0571-87951271-6407
E-mail: xiejin@zju.edu.cn

研究方向：微機械電子系統（MEMS）、微傳感器與驅動器、納米技術。

劉濤

精密工程與微納技術研究所

所长、教授、博導
辦公室：
电 话：0571-87951314-6221
E-mail: liutao@zju.edu.cn

研究方向：穿戴式傳感技術、人體動力學分析和生物力學信息反饋、運動康複機器人。

陳遠流

精密工程與微納技術研究所

研究員、博導
辦公室：
电 话：
E-mail: yuanliuchen@zju.edu.cn

研究方向：智能精密微納制造、精密機電系統集成與控制、先進功能表面的制造、操控與測量、新型驅動方式的界面機理與技術應用。

胡亮

精密工程與微納技術研究所

教授、博導
辦公室：
电 话：
E-mail: cmeehuli@zju.edu.cn

研究方向：面向IC制造的超潔淨流控元件與系統。

朱吳樂

精密工程與微納技術研究所

研究員、博導
电 话：
邮 箱：wulezhu@zju.edu.cn

個人主頁：https://person.zju.edu.cn/zhuwule

研究方向：光學複雜器件的超精密柔性極端制造、自由曲面、微納結構在位測量技術。

阮曉東

精密工程與微納技術研究所

教授、博導
辦公室：
电 话：0571-87953392
E-mail: xdruan@zju.edu.cn

研究方向：流體機械、流動測量、人工心髒。

劉昊

精密工程與微納技術研究所

副教授、碩導
辦公室：
电 话：0571-87951168
E-mail: hliu2000@zju.edu.cn

研究方向：外骨骼機器人、氣動伺服控制系統、氣動-燃油混合動力系統。

劉偉庭

精密工程與微納技術研究所

副教授、碩導
辦公室：
电 话：
E-mail: liuwt@zju.edu.cn

研究方向：微機電系統、MEMS傳感器、柔性觸覺傳感器、穿戴式測量技術。

孫安玉

精密工程與微納技術研究所

副教授、碩導
辦公室：
电 话：
E-mail: say@zju.edu.cn

研究方向：軟組織生物力學、無損檢測技術。

蘇芮

精密工程與微納技術研究所

特聘副研究員、碩導
辦公室：
电 话：
E-mail:srhello@zju.edu.cn

研究方向：光刻機超潔淨流控系統的汙染控制機理研究、氟塑料超潔淨零部件